THA3 — Система активной виброизоляции для прецизионного оборудования
Сочетает воздушные демпферы и 6-осевую активную систему
- Литографическое оборудование
- Полупроводниковое производство
- Прецизионные платформы высокоскоростного перемещения
- Точное измерительное и технологическое оборудование с динамическими нагрузками
Система объединяет мощные воздушные демпферы для пассивной изоляции основания и собственную активную 6-осевую систему THA.
Комбинированная технология упреждающего управления и обратной связи эффективно гасит вибрации даже при внезапных ударных воздействиях и высоких скоростях перемещения.
Пневматическая система выравнивания с клапанным управлением позволяет быстро стабилизировать платформу одним нажатием.
Ключевые преимущества:
- Специально для оборудования с движением и высокими ускорениями
- 6-осевая активная компенсация вибраций
- Комбинированная технология упреждающего и корректирующего управления
- Высокая несущая способность (от 700 кг на модуль)
- Быстрая автоматическая стабилизация
| Параметр |
THA3-1000 |
|
|
Нагрузка на один виброизолятор (кг) |
700–1200 |
|
|
Общая нагрузка при треугольном расположении (кг) |
2100–3600 |
|
|
Рабочее давление виброизолятора |
0,15–0,5 МПа |
|
|
Размер одного изолятора (мм) |
369×388×188 |
|
|
Резонансная частота виброизолятора |
Вертикальная: 10–14 Гц Горизонтальная: 4–6 Гц |
|
|
Степени свободы демпфирования системы |
6 степеней свободы |
|
|
Коэффициент передачи вибрации (Transmissibility) |
≤0 дБ@2Гц ≤ –5 дБ@10Гц ≤ –10 дБ @20Гц |
|
|
Механический жёсткий ограничитель хода |
Горизонтальный ход: ±1,5 мм Вертикальный ход: ±0,6 мм |
|
|
Система выравнивания |
Пневматический сервоклапан + датчик перемещения |
|
Компания ИМКОР поставляет системы активной виброизоляции компании THANS на территории России. Мы предлагаем выгодные условия поставки и полную техническую поддержку. За дополнительной информацией и коммерческими условиями обращайтесь к нашим специалистам
-
Усиленная модульная система активной виброизоляции THA1LМодульная платформа активной виброизоляции повышенной грузоподъёмности (до 1000 кг). Не требует воздуха, простая установка, 6-осевая компенсация вибраций в реальном времени
-
Настольная система активной виброизоляции THA2Мощная платформа активной виброизоляции THA2 для тяжёлого прецизионного оборудования. Комбинирует воздушные демпферы и 6-осевую активную систему
-
Настольная система активной виброизоляции THA1Компактная настольная платформа активной виброизоляции THA1. Лёгкая, не требует воздуха, идеально для AFM, SPM и прецизионных микроскопов
Не нашли оборудование под вашу задачу?
Подберем решение и рассчитаем сроки и условия поставки
