Система позволяет размещать от 4 образцов размером более 20 x 20 мм2.
Каждая подложка соответствует 2 шаблонным маскам.
Позиционирование и программирование осуществляет посредством программного обеспечения.
Расстояние от пластины маски до образца от 0,2 мм.
Для смены маски использована цилиндрическая муфта, скорость смены до 15 секунд
Фиксирующее устройство вращается с номинальной скоростью от 30 оборотов в минуту

Блок оснащен 8-ю комплектами источников испарения термического сопротивления, которые могут быть использованы как для перовскитных, органических, так и для металлических материалов.
Положение источников на расстоянии 35 см от подложки.
Каждый источник оснащен перегородкой, изолирующей тепло и предотвращающей взаимное загрязнение между источниками.
Выходной сигнал имеет точность 0,1 А.
Точность отображения 0,01 А/с.

Блок оснащен регулируемыми по положению зондами
Используемый толщиномер осуществляет точность измерения толщины до ±0,01 А/с и точностью отображения 0,01 А.
Испарение металла: стандартизировано алюминием
Скорость испарения от 0,5 до 10 А/с
с колебаниями скорости испарения до ≤ ±0,1 А/с.
Равномерность толщины подложки ±5%

Материал изготовления вакуумного блока - нержавеющая сталь.
Габариты 380 мм х 380 мм х 530 мм.
Внутренняя часть вакуумного блока электрополирована для уменьшения поверхностного газовыделения.
Вакуумный блок имеет полностью открывающиеся раздвижные дверцы внутри бокса с смотровым окном, которое можно прикрепить к перчаточному боксу.
Задняя дверь вакуумного блока позволяет обслуживать внутреннюю камеру. Два смотровых окна.
Предельный вакуум 4×10^-5 Па или 9,3 x 10^-2 мбар.
Переход от атмосферного давления к 5×10^-4 Па занимает не более 15 минут.
Скорость утечки 1*10^-10 Па*м³/с.
Скорость на выходе 700 Л/с.
Скорость откачки 30 м³/ч.
Атмосферное давление 5,0Е-7 мбар.
Угловой клапан имеет возможность использования 10 000 раз.
Предельный вакуум углового клапана 1×10⁻ ⁶ Па.
Окно наблюдения оснащено металлическим экраном с возможностью открытия/закрытия снаружи блока.
Светодиодный светильник для наблюдения за внутренними условиями.
Внутренняя часть вакуумного блока оснащена металлическими экранами против загрязнения.

Устройство имеет интуитивно понятное управление, позволяющее пользователям легко взаимодействовать с системой и настраивать процессы осаждения.
Система поддерживает возможность создания уникальных профилей для каждого оператора с индивидуальными параметрами доступа и управления процессами.
Блок управления обеспечивает несколько режимов работы, включая автоматический, полуавтоматический и ручной режимы, в зависимости от требований пользователя.
Устройство оснащено функцией непрерывного мониторинга ключевых параметров процесса, с возможностью их регулировки в реальном времени.
Система предусматривает использование уникальных идентификаторов доступа, что позволяет различным пользователям безопасно управлять процессами в соответствии с их уровнем допуска.
Режим управления скоростью.
Возможность переключения вакуумного блока в независимый режим: переключение между ручным режимом и полуавтоматическим режимом.
Управление в ручном режиме клапаном механического насоса, задвижкой, запуском/остановкой молекулярного насоса.
Система управления обеспечивает обратную связь о состоянии электрооборудования
В полуавтоматическом режиме предусмотрена возможность откачки для достижения вакуумной среды.
Завершение процесса вакуумирования осуществляется с помощью автоматизированного управления.
Контроль каждого рабочего этапа процесса испарения.